Los cartuchos de filtro de polvo de acero inoxidable con interfaces VCR de 1/2" son componentes críticos en la fabricación de semiconductores, diseñados específicamente para sistemas de distribución de gas de alta-pureza. Estos cartuchos de filtro utilizan tecnología avanzada de sinterización de polvo metálico para lograr una filtración precisa, capturando eficazmente partículas de hasta 5 micrones. Esto garantiza la entrega de gases de proceso ultra-limpios, que son esenciales para mantener la integridad de los procesos sensibles de fabricación de semiconductores. La interfaz VCR de 1/2" proporciona una protección-a prueba de fugas. sello de metal-a-metal, que cumple con los estrictos requisitos de los entornos de semiconductores donde incluso las impurezas de gas más pequeñas pueden provocar defectos importantes en los dispositivos microelectrónicos. Su robusta construcción de acero inoxidable-resistente a la corrosión garantiza durabilidad y confiabilidad a largo plazo-en condiciones extremas.

En aplicaciones de semiconductores, estos cartuchos de filtro desempeñan un papel vital en la protección de equipos posteriores, como controladores de flujo másico y válvulas de precisión, contra la contaminación por partículas. Al integrarse perfectamente en las líneas de gas de alta-pureza existentes, simplifican la instalación y el mantenimiento y minimizan el tiempo de inactividad del sistema. La combinación de alta eficiencia de filtración, resistencia química excepcional y sellado confiable los hace indispensables para garantizar una pureza constante del gas y una eficiencia operativa en instalaciones de producción de semiconductores avanzadas.

Especificaciones de productos

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Material: polvo 316L
Tamaño: φ40*196,3 mm
Precisión del filtro: 5 micras
Interfaz: VCR1/2"
Técnica: Sinterización

Características de los productos

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Pureza ultraalta y retención de partículas
- La estructura de acero inoxidable sinterizado (normalmente 316L) proporciona un medio de filtración limpio, totalmente metálico, sin aglutinantes, adhesivos ni residuos orgánicos.
- Capaz de retención de partículas submicrónicas de hasta 0,5 μm, lo que evita que la microcontaminación llegue a las cámaras de proceso o a las obleas.
- No se desprenden partículas, lo que garantiza un recuento estable de partículas durante un uso prolongado.

2. Robusta estabilidad mecánica y térmica
- El diseño totalmente metálico resiste alta presión, alta temperatura y ciclos térmicos frecuentes.
- Mantiene la integridad mecánica en condiciones de vibración, flujo inverso o pulsos de presión-comunes en los sistemas de distribución de gas.
- Compatible con trazado calefactor para líneas de gas de alta temperatura.

3. Relimpiable y Regenerable
- Los elementos filtrantes se pueden lavar a contracorriente, limpiarlos con ultrasonidos o hornearlos al vacío, lo que permite una vida útil prolongada en comparación con los filtros de polímero o cerámica.
- El ciclo de vida típico se extiende entre 5 y 10 veces el de los filtros desechables de PTFE o PVDF, lo que minimiza el tiempo de inactividad y el costo total de propiedad.

4. Compatibilidad química y resistencia a la corrosión
- 316El acero inoxidable L mantiene una película de óxido pasiva en ambientes de cloruro, flúor, amoníaco y gases ácidos.
- La superficie no reactiva evita la extracción de iones metálicos o cambios en la composición del gas.

aplicaciones

1. Líneas de distribución de gas UHP
- Se instala en patines de suministro de gas a granel, gabinetes de gas y paneles VMB/VMP, filtrando partículas antes de que el gas ingrese a los MFC o herramientas de proceso.
- Se utiliza en N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ y otras líneas de gas de alta pureza que alimentan procesos críticos.

2. Protección de entrada del controlador de flujo másico (MFC)
- Previene la contaminación por partículas y el desgaste de válvulas en controladores de flujo másico de precisión.
- Mejora la estabilidad del flujo a largo plazo y la coherencia de la calibración de los MFC.

3. Cámara de proceso y entradas de gas para herramientas
- Garantiza una entrega libre de partículas y humedad en hornos CVD, ALD, grabado y difusión.
- Se utiliza en líneas SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ y TEOS donde la pureza es fundamental para la calidad y el rendimiento de la película.

4. Sistemas de gases especiales y precursores
- Para gases organometálicos o a base de halógenos donde la inercia química y la estabilidad de la temperatura son cruciales.
- A menudo se coloca después de los vaporizadores o burbujeadores para capturar partículas o gotas condensadas.

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Cartuchos de filtro del polvo del acero inoxidable de 5 micrones con VCR el 1/2” interfaces

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